高純六氟化硫在常溫常壓下呈氣態，裝瓶后為高壓液體。無色、無臭、無毒、不燃。具有良好的化學穩定性和熱穩定性。近年來在許多消費技術范疇中，越來越顯現出它的重要性。高純六氟化硫是我國科研、消費等許多部門急需的特種氣休。

　　在半導體工業巾用于等離子蝕刻工藝，在光導纖維制造中用作隔離層摻雜劑。還是重要的激光資料，在其它范疇也有重要用處。由于良好的絕緣性和滅弧性，氣體被普遍應用于電器工業，如斷路器、高壓開關、高壓變壓器、高壓傳輸線、互感器等。

　　詳細的應用表現在以下幾方面，高純六氟化硫還因化學惰性及無毒、不燃及無腐蝕性，普遍用于金屬冶煉及大氣示蹤、電子制造等行業，電子級高純的拂曉六氟化硫是一中理想的電子蝕刻劑，大量應用于微電子等技術范疇。

　　冷凍工業中，高純六氟化硫可作為致冷劑，拂曉六氟化硫致冷范圍在-45℃-0℃之間，電氣工業應用拂曉六氟化硫作為很高介電強度和良好的滅電弧性能，用作高壓開關、大容質變壓器、高壓電纜、氣體絕緣資料等，六氟化硫氣體還能夠作為采礦工業用作反吸附劑，在礦井煤塵中可用于置換氧。