六氟化硫氣體除在組成過程中發作的雜質外，在氣體的充裝過程中還或許混入少數的空氣、水分、和礦物油等雜質，這些雜質均帶有或會發作必定的毒性物質。因而，為確保純度和質量，對出廠的六氟化硫均擬定了質量標準，并要求生產廠家在供貨時供給生物實驗無毒證明書。

　　電器設備內的aSF6氣體在高溫電弧發作效果時而發作的某些有毒產品。例如：SF6氣體在電弧中的分化和與氧的反響：會生成氟化亞硫酰、四氟化硫酰 、氟化硫酰等有毒物質。電器設備內的六氟化硫氣體分化物與其內的水分發作化學反響而生成某些有毒產品。

　　例如：SF6氣體分化物與水的繼發性反響生成氫氟酸、二氧化硫、硫酸等、電器設備內的SF6氣體及分化物與電極（Cu-W 合金）及金屬資料（AL、Cu）反響而生成某些有毒產品。六氟化硫氣體及分化物與電極或其它資料反響： ALF3（固態粉末）ALF3（固態粉末）CuF2（固態粉末） 等固態粉末、電器設備內的SF6氣體及分化物與絕緣資料反響而生成某些有毒產品。

　　如與含有硅成分的環氧酚醛玻璃絲布板（棒、管）等絕緣件；或以石英砂、玻璃作填料的環氧樹脂澆注件、模壓件以及瓷瓶、硅橡膠、硅脂等起化學效果，生成SiF4、Si（CH3）2F2等產品。 以上這些六氟化硫氣體高溫分化的產品都會導致六氟化硫氣體純度不純的問題。咱們在選購的時分首先要防止，找正規廠家購買，并順便產品檢測陳述。